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太陽能產業一向以量產的經濟規模能力拼輸贏,專利權扮演的角色雖不明顯,但重要性越來越高。對此,矽晶圓廠綠能(3519)繼之前的拋光技術獲得5國專利後,昨(11)日又宣布該公司的「線切割機流體穩定過濾裝置」再獲國內專利,至於中國大陸的

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專利也可望獲得認可。

綠能表示,太陽能矽晶圓切割的良率與產出率,是成本控制與晶片品質的重要關鍵。在切片過程當中,細微碎粒會造成

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目視難及的晶片瑕疵,而原本的設備並無過濾效果,因此必須定期清理切片設備,加上機體沈重,拆卸費時費工,對於生產效率造成不小的影響。

從太陽能產業來看,越上游的領域,投資金額越高。以矽晶圓廠來說,不僅要投資長晶爐,長晶之後還要經過「切片」的程序,此一製程的投資金額也相當驚人,除了設備之外,包括油、粉、線都對於成本的影響性都不小。

工商時報【王中一╱台北報導】

對此,綠能開發出專屬的切片技術,以新式穩定流體與快拆過濾裝置,搭配特殊設計噴嘴,能夠過濾細微碎粒。此外,切削油也不易

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殘留,可提高切片良率並降低保養工時,減少料源耗損,大幅降低成本。

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